键合测试

EVG 20检测系统
  • 产品品牌: 奥地利 EVG
  • 产品产地: 奥地利
  • 应用领域:
  • 产品简介: EVG 20是一款红外快速检测系统，主要用于检测键合空洞，是熔融键合设备的合适搭档


产品简介：

EVG 20是一款红外快速检测系统，主要用于检测键合空洞，是熔融键合设备的合适搭档。

主要特点及参数：

·动态成像

·整个晶圆检查

·最小可检测出0.5mm的空洞

·可作为单独的设备使用也可集成于EVG的大型工艺平台中