清洗与等离子活化

EVG 301晶圆清洗系统
  • 产品品牌: 奥地利 EVG
  • 产品产地: 奥地利
  • 应用领域:
  • 产品简介: EVG 301是一款研发型单晶圆清洗设备，采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗，提高键合质量

产品简介：

EVG 301是一款研发型单晶圆清洗设备，采用兆声清洗在键合前对晶圆表面做清洗，提高键合质量。

主要特点及参数：

·最大可适用于12寸（300mm）晶圆

·采用1MHz兆声清洗头，有效去除＞1μm的颗粒